多弧离子镀膜机主要由镀膜腔室、N个多弧靶、多弧电源,真空获得系统、旋转工件架、管状加热器、气路系统、水路系统、控制系统等组成。控制系统采用手/自动控制。薄膜附着力强,绕射性好,膜材广泛,沉积薄膜效率高,适用于工具镀、装饰镀等。
真空室尺寸:
HC-DHL-700 Φ700×H1100mm
技术参数:
抽气时间:从大气到5×10-3帕少于12分钟
极限真空度:6.67×10-4少于120分钟
电弧靶数: 6-12
工作周期: 25分钟
占地面积: 50平方米