肇庆市汇昌真空设备
诚信交易,提供专业技术服务 全力打造专业的真空镀膜机机品牌
服务热线
13827577718

实验室用小型蒸发镀膜机

发表时间:2020-04-24 18:17

  用作真空蒸发镀的装置称为蒸发镀膜机。蒸发镀膜机主要由真空室、排气系统、蒸发系统和电气设备四部分组成。

  真空室是放置镀件、进行镀膜的场所,直径一般为400~700mm,高400~800mm,用不锈钢或碳钢制作,有水冷却装置。

  真空中制备膜层可防止膜料和镀件表面的污染,消除空间碰撞,提高镀层的致密性和可制备单一化合物的特殊功能的镀层。

  为了提高镀层厚度的均匀性,真空室内的镀件夹具有行星机构或自转加公转的运动装置,如用行星运动方式,这种运动方式成膜均匀性好,台阶覆盖性能良好,镀件装载量大,可以充分利用真空镀膜室的有效空间,是目前经常采用的运动方式。

  排气系统一般由机械泵、扩散泵、管道和阀门组成。为了提高抽气速率,可在机械泵和扩散泵之间加机械增压泵。因此,排气系统既要求在较短的时间内获得低气压以保证快速的工作循环,也要求确保在蒸气镀膜时迅速排除从蒸发源和工作物表面所产生的气体。

  蒸发系统包括蒸发源和加热蒸发源的电气设备。电气设备包括测量真空和膜层厚度及控制台等。


首页       关于我们        产品中心         新闻资讯         产品应用         车间场景        联系我们
肇庆汇昌真空设备
联系邮箱:   hczhenkong@aliyun.com                       售后服务:  吴双先生 13679567474               联系地址:肇庆市端州区厂排街             联系电话:13827577718  0758-2859516