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真空镀膜的膜层厚度如何测量?

发表时间:2022-10-25 17:20

  用真空涂布机涂布后,可能需要测量薄膜的厚度。用什么方法测量薄膜的厚度?

  最直接的镀膜控制方法是应时晶体微量天平法(QCM),可以直接驱动蒸发源,通过PID控制循环驱动挡板来保持蒸发速率。

  只要将仪器与系统控制软件连接,就可以控制整个镀膜过程。然而,( QCM)的精度是有限的,部分原因是它监测的是镀膜的质量,而不是其光学厚度。蒸发镀膜机31.jpg

  此外,虽然QCM在低温下非常稳定,但在高温下会变得对温度非常敏感。在长时间的加热过程中,很难防止传感器落入这个敏感区域,从而对胶片造成重大误差。

  光学监控是高精度镀膜的首选监控方法,因为它可以更精确地控制膜厚(如果使用得当)。

  精度的提高来自于多方面的因素,但最根本的原因还是光学厚度的监控。


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