冷水机在真空镀膜工艺中的作用

　　冷水机在真空镀膜过程中的作用

　　一般中频真空镀膜机都配有冷水机作为镀膜机(主要是圆柱形靶)的冷却设备。那么冷水机对真空镀膜工艺或镀膜设备有什么影响呢?没有资格喝凉水有什么影响?

　　真空镀膜的工作原理是薄膜在高温下蒸发，落在工件表面结晶。因为空气会对蒸发的薄膜分子产生阻力，造成碰撞，使晶体变得粗糙、暗淡，所以需要在高真空下使晶体变得精细、光亮。真空度不高，晶体会失去光泽，结合力差。早期的真空镀膜依靠蒸发的自然散射，导致结合效率差，光泽度差。

　　现在有了中频磁控溅射靶，膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶原子，中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜，解决了过去自然蒸发无法处理的膜体类型问题，如镀钛、镀锆等。

　　中频设备由于频率高、电流大，必须添加冷却水。当电流导体流动时，存在集肤效应，电荷会聚集在导体的表面积上，使导体发热。因此，使用介孔管作为导体，并加水冷却。

　　(主要是圆柱形靶)为什么也要用水冷却?磁控溅射靶在发射时会产生高温，使枪变形，所以它有一个水套来冷却枪。同时，磁控溅射可以被认为是镀膜技术中最杰出的成就之一还有一个重要原因。具有溅射速率高、衬底温升低、膜基结合力好的优点。

　　从更深层次上研究了电子在非均匀电磁场中的运动规律，讨论了更普遍的磁控溅射原理和磁场的横向非均匀性和对称性是磁约束的本质原因的事实。磁控溅射可以被认为是镀膜技术中最杰出的成就之一。具有溅射速率高、衬底温升低、膜基结合力好、器件性能稳定的优点。