真空镀膜设备长时间运行后的维护要点

　　如果真空镀膜设备连续使用6个月以上，真空镀膜设备的抽气速度会明显变慢。怎么保养?本文简述了真空镀膜设备长期运行后的维护要点。

　　首先要冲进大气，拆下连接水管，拧出一级喷嘴，然后用汽油清洗泵腔和泵衬，再用清水加洗衣粉清洗。待水分蒸发干燥后，安装泵衬，重新加入新扩散的泵油，放回机体内，然后重启机器。

　　重新开始真空电镀时，应特别注意泄漏检测。首先观察扩散泵的部分真空度是否达到6*10PA，否则我们进行检漏。

　　检查密封橡胶圈是否安装在接头处或密封圈是否被压碎。

　　排除漏气隐患后才能加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。

　　当真空镀膜设备的泵连续工作一个月时，我们必须更换新油，并彻底排出泵油中的旧油。

　　然后添加一定量的新泵油。连续使用半年以上，更换真空泵油时，应打开油盖，用布将盒内污垢擦拭干净。