真空镀膜机常见故障有哪些？一定要注意！

当真空镀膜机出现故障时，你首先要向用户了解故障的现象，然后你要自己开机观察故障，这样才能更准确、更快速、更合理地排除故障。

故障排除应首先检查低真空是否正常(机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室)。低真空正常后，启动主泵。主泵正常后，检查下腔真空是否正常，然后打开高阀进行高真空检测和检漏，直至达到真空。极端真空、真空保存和恢复，如极端真空和真空保存，都是正常的。但是如果恢复和真空不正常，可能是主泵有问题。

今天我就列举一些真空镀膜机使用中的常见故障和解决方法。

首先，当涂层正在进行时，真空突然下降

1.蒸发源水路围裙损坏(更换围裙)。

2.坩埚损坏(坩埚被更换)

3.高压电极的密封被破坏(更换胶圈)。

4.旋转密封处的橡胶圈损坏(更换橡胶圈)。

5.预阀突然关闭可能是两位五通阀损坏(更换两位五通阀)。

6.高阀突然关闭可能是两位五通阀损坏(更换两位五通阀)。

7.当机械泵停止时，继电器可能断开(检查继电器是否正常)

8.烘烤引入线的电极密封损坏(更换围裙)。

9.挡板动密封处的裙板损坏(更换裙板)。

10.玻璃观察镜破裂爆裂(更换玻璃)。

二是镀膜机抽真空时间过长，达不到真空、恢复真空、极限真空、真空保存。

1.蒸发室内有很多灰尘(应该清洗一下)。

2.扩散泵很久没换油了(应该清洗换了)。

3.前级泵背压过高，机械泵真空度过低(应清洗更换)。

4.动态密封胶圈损坏(更换胶圈)

5.由于蒸发室长期高温，密封胶圈老化(更换胶圈)。

6.蒸发室各进水道的密封处是否有橡胶圈损坏(更换橡胶圈)

7.各引入座螺丝螺母是否松动(重新压紧)。

8.高、低预阀是否密封可靠(注油)