真空镀膜设备有哪些主要部件

　　真空镀膜设备的日常应用随处可见。目前最流行的动力电池正负极材料是用真空镀膜机双面镀铜铝，还有化妆品包装、食品包装、药品包装等。也就是我们日常看到的，通过真空镀膜机镀上一层金属膜，达到阻隔和防腐的效果。由于这些设备的先进技术的出现，人们的生活质量得到了极大的提高。下面小编详细介绍真空镀膜机的组成部分，希望你对真空镀膜设备有个初步的了解:

　　1.真空镀膜设备系统

　　真空镀膜设备系统主要由放卷辊、收卷辊、镀膜鼓、导辊、张力测量(控制)辊、展平辊和电阻测试辊组成，由DC电机驱动。它的作用是根据速度和张力将基材薄膜输送到涂布区进行涂布，然后将涂布后的基材薄膜卷绕成圆柱形卷状薄膜。通过控制工艺参数如速度、膜的张力和展平辊的角度，可以避免褶皱并获得整齐卷绕的膜卷。

　　2.速度控制和张力控制

　　速度控制:带状基材恒定的线速度是保持膜厚均匀的重要条件。系统中带钢的速度控制多采用基于电流控制的恒速控制，速度可根据产品要求预先设定并自动调节。

　　张力控制:薄膜张力控制是真空镀膜机的关键问题。张力控制与薄膜偏差、肋条断裂和起皱有关。

　　3.蒸发系统由蒸发源支架(电极)、蒸发源、送丝机等组成。

　　4.PVD镀膜机真空室的开启机构:大型双室半连续蒸发镀膜机的开启机构一般由真空室、卷绕机构、密封板、电源柜、行程开关和小车组成。根据基础涂层材料的宽度，确定是单开门还是双开门。常见的真空室大多是单开门，蒸发器还在镀膜室内。

　　5.屏蔽组件:需要屏蔽薄膜上未镀膜的条纹或网状，这是电容薄膜的要求。普通电容器的屏蔽条纹沿基膜的纵向延伸，而安全电容器膜的屏蔽条纹为网状。

　　6.真空镀膜机系统:一般真空镀膜机的卷绕室和镀膜室各有一套真空泵。国内外设备使用的真空抽气系统蒸发室的主泵一般是预测扩散泵，主泵是抽速较高的油扩散喷射泵。