电子束蒸发镀膜是什么？有什么优劣势？

　　在高真空下，电子枪灯丝加热后发射出热电子，热电子被加速阳极加速，获得巨大动能轰击被蒸发材料，动能转化为热量加热蒸发被蒸发材料，实现电子束蒸发镀膜。电子束蒸发源由发射电子的热阴极、电子加速电极和作为阳极的涂层材料组成。电子束蒸发源的能量可以高度集中，使得涂层材料局部达到高温并蒸发。通过调节电子束的功率，可以方便地控制涂层材料的蒸发速率，特别是对于高熔点、高纯度的金属和化合物材料。

　　电子束蒸发镀膜的特性

　　电子束镀膜机是工业上常用的薄膜制造设备。由于其特性，在薄膜生产中起着很大的作用，薄膜主要是在镀膜机中用电子束加热生产的。

　　1.电子束加热蒸发镀膜的优势

　　①与传统的电阻加热法相比，镀膜机中的电子束加热法。电子束加热会产生较高的通量密度，有利于高熔点物质的蒸发，也能在一定程度上提高蒸发速率。

　　②蒸发镀膜机工作时，将待蒸发的原料放入水冷铜坩埚中，可防止材料被污染，并可制得高纯度的薄膜。

　　③电子束蒸发的粒子动能比较大，会有利于薄膜的精度和结合力。

　　2.电子束加热蒸发镀膜的缺点

　　①电子束蒸发镀膜机整体结构复杂，与其他镀膜设备相比价格相对较高。

　　②镀膜机工作时，如果蒸发源附近的蒸汽密度比较高，那么电子束和蒸汽粒子之间会有一些相互作用，影响电子的通量，电子的通量会损失或抵消。同时你可能会触发蒸汽和残留气体的激发和电离，影响整片的质量。