蒸发镀膜机真空系统常见的操作规程

　　真空镀膜机对操作、启停过程、各种真空系统故障时的污染保护都有严格的要求，必须遵守操作规程。

　　1.机械泵，只能泵出15Pa~20Pa或更高的压力，否则会带来严重的回流污染;

　　2、吸附泵，要配置压力爆破装置，避免升温后发生事故;

　　3.停机时，冷阱应与真空室隔离，待液氮抽走，温度回升后，方可停止高真空泵;

　　4、扩散泵在正常工作前和停泵后20min内油蒸气污染很大，因此不得与真空室或冷阱相通;

　　5.分子筛，防止分子筛吸附阱中的分子筛固体粉末及其本身被机械泵吸走。如果蒸发镀膜机的真空系统达不到真空要求或者抽不上来，可以先检查抽气装置的工作状态，再检查是否有释气源。组装真空部件前，应严格清洗、干燥和检漏，合格后方可使用。然后检查可拆卸部分密封圈的清洁度，密封面的划痕，连接的紧密度等等。