电子束蒸发镀膜机的三个常见故障(含检查维修方法)

电子束蒸发镀膜机在运用的过程中由于本身设备的特点难免会呈现或大或小的故障问题，最常见到的故障大多是由电路短路、镀膜材料的残渣等原因，下面是汇昌真空设备总结的电子束蒸发镀膜机的三个常见故障和检查修理办法。

电子束蒸发镀膜机的三个常见故障和检查维修方法

1、真空的腔体内有焦糊味

设备在运用中，从真空腔体内宣布焦糊味，首选要判断的是零件时候有产生损坏或者被烧毁，假如在排查后发现零件没有任何的异常或者损坏，那么工作人员就需要对设备进行逐渐的排查，在修理的过程中需要对腔体选用排除的办法进行检测，电子蒸发源是整个系统的主要的结构，也是排查问题的时候最需要检测的位置。

2、电子枪无法正常的工作

由于电子束是依托电子枪产生的，假如电子枪无法正常的工作会影响到整台设备的正常工作。首先要需要确认的是高压电缆线的连接部位是否正常，假如正常的状况的话，就需要检查周围的环境是否比较的湿润，湿润的环境有可能会形成电路的短路，容易形成设备呈现故障问题。

3、电子束流不能正常的加载

呈现这种故障有可能是电极或者电极或者是调压器内部有积炭或有短路现象，它在低电流时还正常，但把电流升到一定的数值时就击穿，就会呈现跳断路器的现象，表面上有时发现不了，最好用兆欧表对地摇一摇。