真空镀膜机的原理

　　真空镀膜机是目前使用最广泛的真空条件下的真空设备。一般由真空室、真空单元和电气控制柜三大部分组成，排气系统由“扩散泵 + 机械泵 + 罗茨泵 + 低温陷阱 + 多冷”组成。本公司专业从事真空镀膜设备的研发和生产，拥有经验丰富的技术队伍和优质的售后服务队伍，为您解决设备在使用中遇到的任何问题。下面，详细介绍了真空镀膜机各部件的组成及其工作原理。

　　一、真空主体——真空室根据加工产品的要求差异，大小也不一。目前应用最广泛的真空室有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。燃烧室由不锈钢制成，不需要生锈、坚固等。真空室的所有部分都设有连接阀，用于连接各种泵。

　　二、辅助抽气系统：排气系统是真空镀膜机的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵(主要引入罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。机械泵首先将真空室抽入小于2.0 * 10-2 pa 的低真空状态，为扩散泵的后续真空抽吸提供了前提，然后在扩散泵的真空室抽吸时，机械泵与油扩散泵串联，完成抽吸作用。

　　上述各部件中，真空泵的选择是十分重要的一环，具体要如何选择大家可以参考《真空镀膜机怎么选配真空泵？》。