真空镀膜机的操作注意事项及日常维护保养

　　真空镀膜机主要是指需要在高真空度下进行的镀膜，包括真空蒸发镀膜机、真空多弧离子镀膜机、真空中频磁控溅射镀膜机、多功能中频磁控溅射多弧复合离子镀膜机、真空光学(电子束蒸发)镀膜机等。以下是镀膜机的操作注意事项及日常维护保养的介绍。

　　一、安全操作注意事项

　　1、真空电镀机操作员要穿着整洁，袖口扣紧（佩戴袖套），上衣下摆不能敞开，不得穿拖鞋、高跟鞋；

　　2、检查电路各控制开关能否正常断开闭合，电压指示380±20V；

　　3、检查各螺钉处连接是否牢固，电控柜、主机的连接线有无松脱现象、接地是否良好；所有电器的开关在零或者“关”的位置上；

　　4、检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固，角部有无弯曲翘曲等变形情况；

　　5、检查水压、气压是否正常；水、油、气是否有漏滴现象；

　　6、设备中途停水时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行；

　　7、设备中途停气时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行；

　　8、设备中途停电时，应立即关总电源，后关扩散泵、粗抽泵、维持泵；

　　9、扩散泵加热时，避免身体接触扩散泵加热炉、以免烫伤；

　　10、工件旋转时，禁止一切作业；应待工件完全停止转动后，才可进行上下滚筒作业；

　　11、电镀作业完成后，需要打开门时，应有作业人员扶住拉手，缓慢的将门打开，并将插销插入固定孔中；

　　12、真空电镀机操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业，注意设备本身及设备运行中的安全，特别要重视安全装置的检查与使用。

　　二、日常维护保养

　　1、每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。

　　方法：用氢氧化钠（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（ 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。

　　2、当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。

　　方法：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。

　　3、扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。

　　方法：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。