真空镀膜设备工艺清洗

　　真空镀膜机应在真空过程前对真空材料进行清洗，去除工件或系统材料表面的污染物;车灯镀膜机零部件表面的清洁也是很有必要的，因为污染物引起的气体和蒸气源不仅会使真空系统无法获得所需的真空度。而且由于污染物的存在，还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。

　　真空镀膜机的污染物可以定义为“任何一种无用的物质或能量”。多弧离子镀膜机根据污染物的物理状态可分为固态、气态和液态，污染物以薄膜或颗粒的形式存在。就其化学特性而言，它可以是离子态或共价态，无机态或有机态。

　　暴露在空气中的真空镀膜机表面最容易受到污染。污染源有很多，最初的污染通常是地表本身的一部分。吸附现象、化学反应、浸出干燥过程、机械处理、扩散和偏析过程都增加了各种组分的表面污染物。真空材料表面的常见污染物如下。

　　①油脂:润滑剂、切削液、真空油脂等。在加工、组装和操作过程中被污染;

　　②水基类:操作时的手汗、吹气时的水蒸气、唾液等。

　　③表面氧化物:材料长时间放置在空气中或潮湿空气中形成的表面氧化物;

　　④酸、碱、盐类物质:清洗时的残留物质、手汗、水中的矿物质等。

　　⑤环境空气中的抛光残渣、灰尘和其他有机物等。

　　根据要求，真空镀膜机清洗的表面可分为原子清洗表面和工艺清洗表面两种。

　　前期清洗真空镀膜机可以减少很多麻烦，避免溅射镀膜机的很多小问题，对真空镀膜机的工作效率和镀膜质量有非常积极的作用。它可以大大提高真空系统中所有壁面和其他部件表面在各种工况下的工作稳定性。这些工作条件包括:高温、低温以及电子、离子、光子或重粒子的发射和轰击。